紫外激光器設(shè)備的優(yōu)勢(shì)主要有以下幾點(diǎn)：高精度、高速度、高效率、非接觸式加工、對(duì)材料的損傷很小等。此外，紫外激光機(jī)的光束質(zhì)量高，可進(jìn)行微米級(jí)別的加工，適用于各種高精度光學(xué)器件、電子器件、微納器件等的高效加工。